[发明专利]多层电容器的制造方法

摘要

本发明提出了一种多层电容器的制造方法，通过形成多层电容器的第一电极、第二电极和介电层，形成多个电容器层，减小了电容器的体积，再形成介质层以包裹住多层电容器，采用刻蚀的方法刻蚀层叠体一侧的第一电极，使层叠体这一侧的第一电极较第二电极短，采用刻蚀的方法刻蚀层叠体另一侧的第二电极，使层叠体这一侧的第二极较第一电极短，避免了刻蚀大量的沟槽和使用更多的掩模层，精简了工艺、提升了多层电容器的器件的性能。

主权项

1.一种多层电容器的制造方法，其特征在于，所述多层电容器的制造方法包括：在衬底上形成层叠体，所述层叠体包括多个第一电极和多个第二电极，所述第一电极与第二电极交替设置，每个所述第一电极和所述第二电极之间设置有介电层；刻蚀所述层叠体第一侧的所有第一电极，使所述层叠体第一侧的所有第一电极较所有第二电极短，所有第一电极形成第一外部电极；刻蚀所述层叠体第二侧的所有第二电极，使所述层叠体第二侧的所有第二电极较所有第一电极短，所有第二电极形成第二外部电极，所述第二侧与所述第一侧相对；形成金属线，所述金属线连接所述第一外部电极和所述第二外部电极；刻蚀所述层叠体第一侧的所有第一电极，使所述层叠体第一侧的所有第一电极较所有第二电极短，所有第一电极形成第一外部电极的步骤包括：形成介质层以包覆所述层叠体；刻蚀所述层叠体第一侧的介质层，形成第一沟槽；刻蚀所述第一沟槽内的所述第一电极，使所述层叠体第一侧的所有第一电极较所有第二电极短，所有第一电极形成第一外部电极；将所述第一沟槽填充满并且平坦化；刻蚀所述层叠体的第二侧的所有第二电极，使所述层叠体第二侧的所有第二电极较所有第一电极短，所有第二电极形成第二外部电极的步骤包括：刻蚀所述层叠体第二侧的介质层，形成第二沟槽；刻蚀所述第二沟槽内的所述第二电极，使所述层叠体第二侧的所有第二电极较所有第一电极短，所有第二电极形成第二外部电极；将所述第二沟槽填充满并且平坦化。