[发明专利]一种多功能空间电荷测量系统及测量方法

摘要

一种多功能空间电荷测量系统及测量方法，该测量系统包括测量上电极，测量下电极，与测量上电极脉冲接入端连接的脉冲发生装置，与测量上电极高压接入端连接的直流高压源，试样设置在测量上电极和测量下电极间；测量下电极包括金属外壳，设置在金属外壳顶部并与试样下表面接触的下电极上盖板，设置在金属外壳内并与下电极上盖板下表面紧贴的薄膜传感器，罩在薄膜传感器外部的金属屏蔽壳，与薄膜传感器相连的低噪声放大器，镶嵌在金属外壳上的面板接头，低噪声放大器与面板接头相连；通过积分电路匹配线与面板接头连接的示波器；本发明还公开了测量方法；本发明不仅具有常规空间电荷测量功能，还具备在模拟空间真空高能电子环境下对不同厚度的板状试样电荷注入和消散规律以及电荷、电场分布进行在线测量的功能。

主权项

一种多功能空间电荷测量系统，其特征在于：包括测量上电极(1)，测量下电极(12)，与测量上电极(1)脉冲接入端连接的可调脉冲参数的脉冲发生装置(2)，与测量上电极(1)高压接入端连接的直流高压源(3)，试样设置在测量上电极(1)和测量下电极(12)间；所述测量下电极(12)包括金属外壳(8)，设置在金属外壳(8)顶部并与试样的下表面接触的下电极上盖板(4)，设置在金属外壳(8)内并与下电极上盖板(4)下表面紧贴的可改变厚度的薄膜传感器(5)，罩在薄膜传感器(5)外部的金属屏蔽壳(6)，与薄膜传感器(5)相连的低噪声放大器(7)，镶嵌在金属外壳(8)上的面板接头(9)，面板接头(9)中有一个信号传输口和一个电源接入口，分别用于传出低噪声放大器(7)放大的信号和给低噪声放大器(7)供电，低噪声放大器(7)与面板接头(9)相连；与面板接头(9)的信号传输口连接的积分电路匹配线(10)，连接在积分电路匹配线(10)另一端的示波器(11)。