[发明专利]蒸镀坩埚提取装置有效
申请号: | 201710539065.7 | 申请日: | 2017-07-04 |
公开(公告)号: | CN107164735B | 公开(公告)日: | 2019-11-12 |
发明(设计)人: | 金鑫;刘暾;闫华杰;战泓升 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24 |
代理公司: | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 | 代理人: | 滕一斌 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种蒸镀坩埚提取装置,属于蒸镀技术领域。所述蒸镀坩埚提取装置包括:长杆、控制单元和提取单元;提取单元设置在长杆的一端,控制单元设置在长杆的另一端且与提取单元连接,提取单元能够在控制单元的控制下由第一状态切换至第二状态;当提取单元处于第一状态时,提取单元能够通过蒸镀坩埚的盖子上的通孔,当提取单元处于第二状态时,提取单元不能够通过通孔。使用该装置进行蒸镀坩埚提取时,由于作业人员不需要到蒸镀坩埚跟前取坩埚,减少了作业人员在蒸镀腔滞留的时间,从而减少了作业人员进入蒸镀腔对蒸镀腔造成的污染,同时降低了蒸镀腔内的残留气体或粉尘也会对作业人员的人身健康产生的不良影响。 | ||
搜索关键词: | 坩埚 提取 装置 | ||
【主权项】:
1.一种蒸镀坩埚提取装置,其特征在于,所述蒸镀坩埚提取装置包括:长杆、控制单元和提取单元;所述提取单元设置在长杆的一端,所述控制单元设置在所述长杆的另一端且与所述提取单元连接,所述提取单元能够在所述控制单元的控制下由第一状态切换至第二状态;当所述提取单元处于第一状态时,所述提取单元能够通过蒸镀坩埚的盖子上的通孔,当所述提取单元处于第二状态时,所述提取单元不能够通过所述通孔;所述提取单元包括安装杆、竖杆和至少一个连动杆,所述安装杆垂直固定连接于长杆的一端,所述竖杆可滑动地安装在所述安装杆上,且所述竖杆的长度方向和滑动方向均与所述安装杆的长度方向相同;每个所述连动杆包括第一杆部和第二杆部,所述第一杆部的一端可转动连接在所述安装杆上,所述第一杆部的另一端与所述第二杆部的一端可转动连接,所述第二杆部的另一端可转动连接在所述竖杆的远离所述长杆的一端上,所述第一杆部的一端与所述安装杆之间的转动轴线、所述第一杆部的另一端与所述第二杆部的一端的转动轴线和所述第二杆部的另一端与所述竖杆之间的转动轴线均与所述竖杆的长度方向垂直。
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