[发明专利]间隙补偿机构、封闭型气浮导轨及定位平台

摘要

本发明属于大行程高精度运动定位相关技术领域，其公开了一种间隙补偿机构，所述间隙补偿机构包括第一磁铁、第二磁铁、第三磁铁、支架及底座，所述第一磁铁、所述第三磁铁及所述第二磁铁依次间隔收容于所述底座内，所述第一磁铁及所述第二磁铁均连接于所述底座；所述第三磁铁在第一磁铁与第二磁铁间隙内移动时，所受第一磁铁与第二磁铁磁合力大小基本不变，在封闭型气浮导轨应用时，实现在保证气膜厚度不变的条件下，补偿导轨面间隙的变化；所述支架设置在所述底座上，其连接于所述第三磁铁，所述第三磁铁及所述支架通过同步移动以实现间隙补偿。所述间隙补偿机构的所述第三磁铁及所述支架通过同步移动来实现间隙补偿，且结构简单，灵活性较高。

主权项

1.一种间隙补偿机构，其特征在于：所述间隙补偿机构包括第一磁铁、第二磁铁、第三磁铁、支架及底座，所述第一磁铁、所述第三磁铁及所述第二磁铁依次间隔收容于所述底座内，所述第一磁铁及所述第二磁铁均连接于所述底座；所述第一磁铁及所述第二磁铁受到的磁合力与所述第三磁铁受到的磁合力的大小相等、方向相反；所述支架设置在所述底座上，其连接于所述第三磁铁，所述第三磁铁及所述支架通过同步移动以实现间隙补偿；所述第一磁铁的磁化方向与所述第三磁铁的磁化方向相同，所述第三磁铁的磁化方向与所述第二磁铁的磁化方向相反；或者，所述第一磁铁的磁化方向与所述第三磁铁的磁化方向相反，所述第三磁铁的磁化方向与所述第二磁铁的磁化方向相同。