[发明专利]堆叠螺旋电感有效
| 申请号： | 201710534700.2 | 申请日： | 2017-07-03 |
| 公开（公告）号： | CN109216316B | 公开（公告）日： | 2020-09-08 |
| 发明（设计）人： | 董聪颖 | 申请（专利权）人： | 无锡华润上华科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/522 | 分类号： | H01L23/522 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 邓云鹏 |
| 地址： | 214028 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种堆叠螺旋电感，堆叠螺旋电感包括衬底以及在所述衬底上通过半导体工艺在所述衬底上形成多层堆叠的绝缘层和电感金属层；所述电感金属层包括具有螺旋状的导电线圈以及用于连接相邻两层电感金属层的通孔区域，各个所述电感金属层的导线线圈具有公共的线圈中心，相邻两层电感金属层中，下层电感金属层的导电线圈相对于上层电感金属层的导电线圈向所述线圈中心缩进。在无需改变现有工艺技术的条件且在同等衬底面积的情况下，使螺旋电感层与层之间的寄生电容降低，提高了自谐振频率，进而提高了螺旋电感的性能。 | ||
| 搜索关键词： | 堆叠 螺旋 电感 | ||
【主权项】：
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