[发明专利]激光干涉信号直流偏置漂移相位误差补偿方法及装置

摘要

本发明公开了一种激光干涉信号直流偏置漂移相位误差补偿方法及装置。激光干涉仪的参考信号和测量信号经信号放大滤波预处理，然后转换为数字信号；将参考信号和测量信号的数字信号依次通过插值滤波、过零仲裁后和相位计数后，采集获得特定时钟计数；根据特定时钟计数进行计算获得计数误差，用计数误差计算获得补偿的相位差。本发明克服了激光干涉仪中由于直流漂移引入的误差，提高了激光干涉仪信号处理中的相位测量精度，适用于各种干涉测量技术。

主权项

1.一种激光干涉信号直流偏置漂移相位误差补偿方法，其特征在于：1)激光干涉仪的参考信号和测量信号经信号放大滤波预处理，然后转换为数字信号；2)将参考信号和测量信号的数字信号依次通过插值滤波、过零仲裁后和相位计数后，采集获得特定时钟计数；所述步骤2)中的特定时钟计数具体是包括在相位计数后测得的参考信号和测量信号正半周期内和负半周期内的高频时钟数为N_r+、N_r‑和N_m+、N_m‑以及参考信号和测量信号正向过零点之间的高频时钟数为N；3)根据特定时钟计数进行计算获得计数误差，用计数误差计算获得补偿的相位差；所述步骤3)具体为：先通过以下公式求得直流偏置漂移引起的参考信号和测量信号正向过零点之间的计数误差为：其中，N_r+、N_r‑分别表示参考信号在正半周期内和负半周期内的高频时钟数，N_m+、N_m‑分别表示测量信号在正半周期内和负半周期内的高频时钟数；然后采用以下公式计算得到补偿直流偏置漂移相位误差后的参考信号和测量信号之间的相位差为：其中，N_C表示计数误差。