[发明专利]基板夹持装置、成膜装置及成膜方法有效
| 申请号： | 201710518668.9 | 申请日： | 2017-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN107557746B | 公开（公告）日： | 2020-11-10 |
| 发明（设计）人： | 大谷启介 | 申请（专利权）人： | 佳能特机株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 朱龙 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够使基板不粘附于按压用具地从夹持状态向释放状态转移的基板夹持装置。基板夹持装置具有支承基板(1)的支承用具(2)和与该支承用具(2)相向配置并按压所述基板(1)的按压用具(3)，通过所述支承用具(2)和所述按压用具(3)来夹持所述基板(1)，其中，在所述按压用具(3)的与基板(1)相向的相向面上，设有朝向所述基板(1)侧突出的三个以上的按压部(4)，并且，所述按压部(4)以相对于任一个所述按压部(4)的顶部(4a)而其他的两个以上的所述按压部(4)的顶部(4a)在与所述相向面平行的平面方向上向不同的方向分离的状态设置，通过上述的按压部(4)按压所述基板(1)。 | ||
| 搜索关键词： | 夹持 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种基板夹持装置，所述基板夹持装置具有支承基板的支承用具和与该支承用具相向配置并按压所述基板的按压用具，通过所述支承用具和所述按压用具来夹持所述基板，其特征在于，在所述按压用具的与基板相向的相向面上，设有朝向所述基板侧突出的三个以上的按压部，并且，所述按压部以相对于任一个所述按压部的顶部而其他的两个以上的所述按压部的顶部在与所述相向面平行的平面方向上向不同的方向分离的状态设置，通过上述的按压部按压所述基板。
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