[发明专利]具有垂直侧壁敏感层的红外探测器及其制备方法

摘要

本发明提供了一种具有垂直侧壁敏感层的红外探测器及其制备方法，通过在半导体衬底上形成至少一条鳍结构；在鳍结构侧壁可以采用离子注入形成敏感层；在鳍结构底部形成下电极层，下电极层与敏感层底部相接触；以及在鳍结构上方形成上电极层，上电极层与敏感层顶部相接触。本发明通过设置垂直侧壁敏感层来降低光刻对敏感层的影响，减小对敏感层的灵敏度的影响。

主权项

1.一种红外探测器，其特征在于，包括：一半导体衬底；位于所述半导体衬底上的至少一条鳍结构；位于鳍结构侧壁的敏感层；位于鳍结构底部的下电极层，下电极层与敏感层底部相接触；以及位于鳍结构上方的上电极层，上电极层与敏感层顶部相接触；其中，鳍结构构成至少一个鳍结构单元，鳍结构单元具有以下特征：具有M条鳍结构，其中，M‑1条鳍结构平行排列，剩余的一条鳍结构与所述M‑1条鳍结构的每个端部呈垂直相交排列。