[发明专利]红外探测器及其制备方法

摘要

本发明提供一种红外探测器及其制备方法，所述红外探测器包括衬底、第一电极、多个第二电极及从下而上依次设置于衬底上的吸收层、第一势垒层、第二势垒层，第一电极与衬底连接，第二势垒层包括阵列设置的多个半导体层，多个半导体层与多个第二电极一一对应，每个半导体层与一个第二电极连接。所述制备方法包括：提供一衬底；从下而上依次在衬底上生长形成吸收层、第一势垒层、第二势垒层；刻蚀第二势垒层，以形成阵列设置的多个半导体层；分别在衬底上沉积第一电极、在多个半导体层上沉积多个第二电极。所述红外探测器中只对第二势垒层进行刻蚀，在不破坏吸收层的情况下实现器件的电学隔离，简化了器件工艺、提高了器件的可靠性。

主权项

1.一种红外探测器，其特征在于，包括衬底、第一电极、多个第二电极及从下而上依次设置于所述衬底上的吸收层、第一势垒层、第二势垒层，所述第一电极与所述衬底连接，所述第二势垒层包括阵列设置的多个半导体层，所述多个半导体层与所述多个第二电极一一对应，每个所述半导体层与一个所述第二电极连接。