[发明专利]一种光学触发测头及测量方法

摘要

一种光学触发测头及测量方法，包括测头光路模块和测头传感模块，测头光路模块包括由前往后依次设置的聚焦透镜一、四分之一波片、偏振分光棱镜、准直透镜、光源以及设于偏振分光棱镜侧边的直角棱镜、依次设于直角棱镜后方的聚焦透镜二和光电探测器；测头传感模块包括光纤杆、转接外壳、固定外壳、柔性弹簧片、反射件以及测针，光纤杆通过转接外壳套设于固定外壳中并置于聚焦透镜一前方，光纤杆和转接外壳与固定外壳之间设有容腔，固定外壳前端设有与容腔相通的开口，柔性弹簧片设于容腔内的开口处，反射件与测针通过连接杆连接并分别固定于柔性弹簧片内外侧的中间。采用本发明解决了现有触发测头技术所存在的各向异性较大、触发精度不高等问题。

主权项

1.一种光学触发测头，包括测头光路模块和测头传感模块，其特征在于：所述测头光路模块包括由前往后依次设置的聚焦透镜一、四分之一波片、偏振分光棱镜、准直透镜、光源以及设于所述偏振分光棱镜侧边的直角棱镜、依次设于所述直角棱镜后方的聚焦透镜二和光电探测器；所述测头传感模块包括光纤杆、转接外壳、固定外壳、柔性弹簧片、反射件以及测针，所述光纤杆通过所述转接外壳套设于所述固定外壳中并置于所述聚焦透镜一前方，所述光纤杆和转接外壳与所述固定外壳之间设有容腔，所述固定外壳前端设有与所述容腔相通的开口，所述柔性弹簧片设于所述容腔内的开口处，所述反射件与所述测针通过连接杆连接并分别固定于所述柔性弹簧片内外侧的中间，所述测针穿过所述开口置于所述固定外壳前方，所述反射件设于所述光纤杆前方并置于所述容腔内；所述测头光路模块还包括用于安装所述测头光路模块的框架，所述转接外壳相对所述测头光路模块的一端设有与所述框架配合连接的三个环形均布的磁铁和三个环形均布的定位槽，所述测头传感模块与测头光路模块通过所述定位槽和磁铁与框架的配合进行连接。