[发明专利]一种磷化铟多晶材料的清洗方法在审
申请号: | 201710497976.8 | 申请日: | 2017-06-27 |
公开(公告)号: | CN107338481A | 公开(公告)日: | 2017-11-10 |
发明(设计)人: | 关活明 | 申请(专利权)人: | 台山市华兴光电科技有限公司 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00 |
代理公司: | 广州科粤专利商标代理有限公司44001 | 代理人: | 蒋欢妹,莫瑶江 |
地址: | 529200 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种磷化铟多晶材料的清洗方法,该方法包括以下步骤1)先将磷化铟多晶晶锭放入乙醇中浸泡,然后放入温度为60℃丙酮中浸泡3‑10分钟,用去离子水冲洗或者用小刷子刷洗去除表面黑胶;然后放入温度为70℃的醋酸中浸泡去除粘胶;接着用#100金钢沙纸去除所有痕迹,磨圆材料边,得到粗产品;2)将步骤1)得到的粗产品放入由氨水、过氧化氢和去离子水组成的混合溶剂中浸泡2小时,取出后用去离子水冲洗,超声波清洗20分钟,然后放入盛甲醇的敝口容器中清洗,取出晾放得到清洗后的磷化铟多晶材料。本发明能在15小时内去除掉磷化铟多晶材料表面杂质,如铁、镁、钙、铜、胶质、涂料等。本发明得到的产品纯度对重金属清洗洁净度≤10PPM。 | ||
搜索关键词: | 一种 磷化 多晶 材料 清洗 方法 | ||
【主权项】:
一种磷化铟多晶材料的清洗方法,其特征在于,该方法包括以下步骤:1)先将磷化铟多晶晶锭放入乙醇中浸泡,然后放入温度为60℃丙酮中浸泡3‑10分钟,用去离子水冲洗或者用小刷子刷洗去除表面黑胶;然后放入温度为70℃的醋酸中浸泡去除粘胶;接着用#100金钢沙纸去除所有痕迹,磨圆材料边,得到粗产品;2)将步骤1)得到的粗产品放入由氨水、过氧化氢和去离子水组成的混合溶剂中浸泡2小时,取出后用去离子水冲洗,超声波清洗20分钟,然后放入盛甲醇的敝口容器中清洗,取出晾放得到清洗后的磷化铟多晶材料;所述混合溶剂中,氨水的质量分数为28%‑35%,过氧化氢的质量分数为30‑35%。
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