[发明专利]一种纳米分辨率的应变测试设备及方法

摘要

本发明公开了一种纳米分辨率的应变测试设备及方法，其包括测试腔、样品台、样品台下的温度磁场控制装置、移动马达、放置于样品台上的待测样品、设置在样品上方的第一探针和第二探针、设置在样品侧壁或截面的第三探针和第四探针、具有多重聚焦电子束的电子枪及控制电子枪旋转的第一旋转轨道、X射线枪、离子枪及控制离子枪旋转的第二旋转轨道；所述测试腔收集的俄歇电子谱依次通过电子转移透镜、半球型电子能量分析器、沟道电子乘数器传输至探测器和信号放大器；探测器和信号放大器通过俄歇应变算法模块和计算输出系统实时输出样品的动态应变值ε。

主权项

1.一种纳米分辨率的应变测试设备，其特征在于：包括测试腔、样品台、样品台下的温度磁场控制装置、移动马达、放置于样品台上的待测样品、设置在样品上方的第一探针和第二探针、设置在样品侧壁或截面的第三探针和第四探针、具有多重聚焦电子束的电子枪及控制电子枪旋转的第一旋转轨道、X射线枪、离子枪及控制离子枪旋转的第二旋转轨道；/n所述测试腔收集的俄歇电子谱依次通过电子转移透镜、半球型电子能量分析器、沟道电子乘数器传输至探测器和信号放大器，再通过俄歇应变算法模块和计算输出系统实时输出样品的动态应变值ε；/n所述样品台、温度磁场控制装置、样品、第一探针、第二探针、第三探针、第四探针、电子枪、移动马达和离子枪位于测试腔内；所述第一旋转轨道、第二旋转轨道位于测试腔外部；/n所述第一旋转轨道可控制电子枪旋转角度为θ；且0°≤θ≤90°；第二旋转轨道可控制离子枪旋转角度为α；且-45°≤α≤45°；所述俄歇应变算法模块通过俄歇应变算法ε＝a×(κ-κ