[发明专利]一种基于开尔文探针力显微镜的表面电势测量方法有效
| 申请号： | 201710486841.1 | 申请日： | 2017-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN107255738B | 公开（公告）日： | 2020-01-14 |
| 发明（设计）人： | 曾慧中;何月;周瑶;幸代鹏;张万里 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | G01Q60/00 | 分类号： | G01Q60/00 |
| 代理公司： | 51203 电子科技大学专利中心 | 代理人： | 李明光 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明属于材料测试技术领域，具体涉及了一种基于开尔文探针力显微镜的表面电势测量方法。利用开尔文探针力显微镜测量得到的针尖一倍频振幅、二倍频振幅与针尖上施加的直流偏压的关系曲线，确定开尔文探针力显微镜测量表面电势时针尖与样品的距离，最终以此针尖与样品的距离实现对样品表面电势的准确测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 开尔文 探针 显微镜 表面 电势 测量方法 | ||
【主权项】：
1.一种基于开尔文探针力显微镜的表面电势测量方法，其特征在于，包括如下步骤：/n步骤1、将待测样品固定在位于扫描管上方的样品台上，令探针外加直流电压V
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