[发明专利]太赫兹返波管真空器件的排气方法有效
| 申请号： | 201710486251.9 | 申请日： | 2017-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN107346722B | 公开（公告）日： | 2018-10-23 |
| 发明（设计）人： | 王鹏康;席洪柱;沈俊;朱刚 | 申请（专利权）人： | 安徽华东光电技术研究所 |
| 主分类号： | H01J9/385 | 分类号： | H01J9/385 |
| 代理公司： | 北京润平知识产权代理有限公司 11283 | 代理人： | 邹飞艳;张苗 |
| 地址： | 241000 安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种太赫兹返波管真空器件的排气方法，其中，所述排气方法包括：1)将返波管置于排气台上进行排气前检漏；2)将检漏后的返波管排气至返波管内真空度达到第一预设值，返波管外真空度达到第二预设值时，按照预设升温曲线对返波管进行升温烘烤；3)将步骤2)中升温烘烤后的返波管经保温后，对返波管中的热丝引线进行加电操作至返波管内真空度达到第三预设值后，停止加电，至热丝引线上的电压降至零；4)待温度降至不高于60℃时，对返波管进行排气后检漏；5)将排气后的返波管封离。实现了能更大程度地排出返波管内部气体，使得返波管得到高真空工作环境，提高其工作可靠性和延长其使用寿命的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 赫兹 返波管 真空 器件 排气 方法 | ||
【主权项】：
1.一种太赫兹返波管真空器件的排气方法，其特征在于，所述排气方法包括：1)将返波管置于排气台上进行排气前检漏；2)将检漏后的返波管排气至返波管内真空度达到第一预设值，返波管外真空度达到第二预设值时，按照预设升温曲线对返波管进行升温烘烤；3)将步骤2)中升温烘烤后的返波管经保温后，对返波管中的热丝引线进行加电操作至返波管内真空度达到第三预设值后，停止加电，至热丝引线上的电压降至零；4)待温度降至不高于60℃时，对返波管进行排气后检漏；5)将排气后的返波管封离。
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