[发明专利]一种等离子体发生器及其等离子体产生方法有效

专利信息
申请号: 201710479370.1 申请日: 2017-06-22
公开(公告)号: CN107124811B 公开(公告)日: 2018-05-04
发明(设计)人: 肖建忠;张宝顺;鲍守珍;宗冰;蔡延国;王体虎 申请(专利权)人: 亚洲硅业(青海)有限公司;青海省亚硅硅材料工程技术有限公司
主分类号: H05H1/24 分类号: H05H1/24
代理公司: 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙)11350 代理人: 刘振
地址: 810007 *** 国省代码: 青海;63
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摘要: 发明公开了一种等离子体发生器,包括反应器腔体、多级催化隔板电极和电源,多级催化隔板电极垂直安装于反应器腔体内,相邻催化隔板电极之间形成等离子体腔室;电源正极和电源负极以交错间隔方式与所述催化隔板电极连接;催化隔板电极包括有具有透气功能的电介质和电极,电介质由光催化材料、铁电催化材料或光催化和铁电材料的混合物质组成。本发明通过将多级催化隔板电极以交错间隔方式与电源连接,且催化隔板电极采用具有透气孔的电介质和电极制成,而电介质由光催化材料、铁电催化材料或光催化和铁电材料的混合物质组成,可以充分利用放电过程中产生的光辐射能量和电子能量,达到在较低放电电压下产生高电子密度的等离子体。
搜索关键词: 一种 等离子体 发生器 及其 产生 方法
【主权项】:
一种等离子体发生器,包括反应器腔体、多级催化隔板电极和电源,其特征在于:所述多级催化隔板电极垂直安装于反应器腔体内,相邻催化隔板电极之间具有一定距离,形成等离子体腔室;电源正极和电源负极以交错间隔方式与所述催化隔板电极连接,连接电源的相邻两个催化隔板电极与催化隔板电极之间的腔室共同形成放电腔室;气体沿着垂直于催化隔板电极的方向导入以及导出所述反应器腔体;所述催化隔板电极包括有具有透气功能的电介质和电极,电极紧密安装在两边的电介质中间;所述电介质由光催化材料、或铁电催化材料、或光催化和铁电材料的混合物质组成;所述电极采用银材料、铜材料或者不锈钢材料制成;所述电极为具有透气功能的整体结构,且电极为丝网结构,其目数为10000目‑10目。
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