[发明专利]弯曲压电振子的两自由度压电驱动器及采用该驱动器实现的两自由度运动的激励方法

摘要

弯曲压电振子的两自由度压电驱动器及采用该驱动器实现的两自由度运动的激励方法。属于压电驱动技术领域。解决了现有的两自由度压电驱动装置结构复杂、成本高和行程小的问题。驱动器包括基座、压电振子和动子，所述弯曲压电陶瓷组分为两部分，分别为第一组弯曲压电陶瓷组和第二组弯曲压电陶瓷组，两组弯曲压电陶瓷施加电压激励信号时，压电振子可以分别实现两个自由度的弯曲运动。通过改变电压激励信号，可以控制压电振子的弯曲方向；利用摩擦力作为驱动力，以压电振子为定子，驱动动子实现两自由度运动。本发明主要应用于超精密驱动、定位、加工等领域。

主权项

1.采用弯曲压电振子的两自由度压电驱动器实现的两自由度运动的激励方法，弯曲压电振子的两自由度压电驱动器包括基座(1)、压电振子(2)和动子(3)；所述压电振子(2)包括弯曲压电陶瓷组(2‑1)、变幅杆(2‑2)和驱动足(2‑3)，弯曲压电陶瓷组(2‑1)设置于基座(1)和变幅杆(2‑2)之间，变幅杆(2‑2)细端设置驱动足(2‑3)，驱动足(2‑3)与动子(3)接触；所述弯曲压电陶瓷组(2‑1)划分为两部分，分别为第一组弯曲压电陶瓷组(2‑1‑1)和第二组弯曲压电陶瓷组(2‑1‑2)；其特征在于，两自由度运动的激励方法可驱动动子(3)沿X轴和Y轴两个两自由度运动，具体表现为：驱动动子(3)沿X轴正向或负向运动，以及沿Y轴正向或负向运动；其中，X轴和Y轴所指向的方向为弯曲压电振子径向平面内两个相互垂直的方向，且二者所指的方向均为正向；(一)驱动动子(3)沿X轴正向运动的具体过程为：步骤一一、对第一组弯曲压电陶瓷组(2‑1‑1)施加幅值逐渐上升的激励电压信号，上升时间为t1，压电振子(2)沿X轴正向产生弯曲变形至极限位置，在静摩擦力作用下，通过驱动足(2‑3)驱动动子(3)沿X轴正向产生位移输出；步骤一二、对第一组弯曲压电陶瓷组(2‑1‑1)施加幅值逐渐下降的激励电压信号，下降时间为t2，且t2<

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