[发明专利]频率调制MEMS三轴陀螺仪

摘要

一种频率调制MEMS三轴陀螺仪(10)，具有：两个可移动质量块(11A，11B)；第一和第二驱动体(31A，31B)，该第一和第二驱动体通过弹性元件(41A，41B)联接至这些可移动质量块(11A，11B)，这些弹性元件在第一方向(X)上是刚性的并且在横向于该第一方向的第二方向(Y)上是柔顺的；以及第三和第四驱动体(32A，32B)，该第三和第四驱动体通过弹性元件(42A，42B)联接至这些可移动质量块，这些弹性元件在该第二方向上是刚性的并且在该第一方向(X)上是柔顺的。第一和第二驱动元件(59A)联接至该第一和第二驱动体(31A，31B)，用于使得这些可移动质量块在该第一方向上反相地平移。第三和第四驱动元件(63A)联接至该第三和第四驱动体(32A，32B)，用于使得这些可移动质量块在该第二方向上且反相地平移。平面外驱动元件(68A)联接至该第一和第二可移动质量块，用于使得在第三方向(Z)上反相地平移。移动感测电极(60A，64A，69A)根据外部角速度生成频率信号。

主权项

一种MEMS三轴陀螺仪(10)，包括：悬挂在基板上方的第一可移动质量块和第二可移动质量块(11A，11B)；第一驱动体(31A)，所述第一驱动体通过第一弹性元件(41A)联接至所述第一可移动质量块(11A)；第二驱动体(31B)，所述第二驱动体通过第二弹性元件(41B)联接至所述第二可移动质量块(11B)，所述第一和第二弹性元件在第一方向(X)上是刚性的并且在横向于所述第一方向的第二方向(Y)上是柔顺的；第三驱动体(32A)，所述第三驱动体通过第三弹性元件(42A)联接至所述第一可移动质量块(11A)；第四驱动体(32B)，所述第四驱动体(32B)通过第四弹性元件(42B)联接至所述第二可移动质量块(11B)，所述第三和第四弹性元件在所述第二方向上是刚性的并且在所述第一方向上是柔顺的；第一和第二驱动元件(59A)，所述第一和第二驱动元件分别联接至所述第一和第二驱动体(31A，31B)，并且被配置成用于使得所述第一和第二可移动质量块(11A，11B)在所述第一方向上以第一频率并且反相地平移；第三和第四驱动元件(63A)，所述第三和第四驱动元件分别联接至所述第三和第四驱动体(32A，32B)，并且被配置成用于使得所述第一和第二可移动质量块在所述第二方向上以第二频率并且反相地平移；平面外驱动元件(68A)，所述平面外驱动元件联接至所述第一和第二可移动质量块并且被配置成用于使得所述第一和第二可移动质量块在第三方向(Z)上以第三频率并且反相地平移，所述第三方向横向于所述第一和第二方向；以及移动感测电极(60A，64A，69A)，所述移动感测电极在所述第一、第二、和/或第三方向上联接至所述第一和第二质量块，以感测由外部角速度所造成的移动，并在使用中以取决于所述外部角速度的频率生成信号。