[发明专利]涂布机、涂布系统及涂布机清洁方法有效
| 申请号： | 201710438885.7 | 申请日： | 2017-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN107199188B | 公开（公告）日： | 2020-03-27 |
| 发明（设计）人： | 蒋勇;王志强;唐星;李舒;申洋;龚超 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B1/04 | 分类号： | B08B1/04;B08B1/00;B08B3/02;B08B5/02;B05C11/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 彭久云 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种涂布机、涂布系统及涂布机清洁方法。该涂布机包括机台和第一清洁装置。该机台包括工作面，该第一清洁装置配置为能够相对于工作面移动以清除工作面上的异物。该涂布系统包括上述涂布机和检测装置，该检测装置配置为对经上述涂布机涂布光刻胶后的基板进行缺陷检测，并且发送检测结果信号以用于控制所述涂布机的第一清洁装置的移动。该涂布机可实现利用第一清洁装置清洁工作面从而避免人员进入设备进行手动清洁。 | ||
| 搜索关键词： | 涂布机 系统 清洁 方法 | ||
【主权项】：
一种涂布机，包括：机台，包括工作面；以及第一清洁装置，配置为能够相对于所述工作面移动以清除所述工作面上的异物。
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