[发明专利]拉晶炉的氩气流量控制装置在审
申请号: | 201710436132.2 | 申请日: | 2017-06-12 |
公开(公告)号: | CN109023510A | 公开(公告)日: | 2018-12-18 |
发明(设计)人: | 不公告发明人 | 申请(专利权)人: | 南京能益节能科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/20 | 分类号: | C30B15/20 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 211222 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明提供一种结构简单、且能够准确控制氩气流量的拉晶炉的氩气流量控制装置,它包括用于检测拉晶炉内氩气压力的压力传感器,在向拉晶炉内输送氩气的管道上设置电磁调节阀,压力传感器的输出接电磁调节阀。 | ||
搜索关键词: | 拉晶炉 氩气流量 电磁调节阀 压力传感器 控制装置 氩气 准确控制 氩气压力 输出 检测 | ||
【主权项】:
1.拉晶炉的氩气流量控制装置,其特征是:它包括用于检测拉晶炉内氩气压力的压力传感器,在向拉晶炉内输送氩气的管道上设置电磁调节阀,压力传感器的输出接电磁调节阀。
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