[发明专利]一种基于热对流原理的微机械加速度传感器有效
| 申请号： | 201710435499.2 | 申请日： | 2017-06-11 |
| 公开（公告）号： | CN107192849B | 公开（公告）日： | 2021-05-28 |
| 发明（设计）人： | 汶飞;刘晓阳;李丽丽;王高峰;叶剑飞;王路文;吴薇 | 申请（专利权）人： | 杭州电子科技大学 |
| 主分类号： | G01P15/08 | 分类号： | G01P15/08 |
| 代理公司： | 杭州奥创知识产权代理有限公司 33272 | 代理人： | 王佳健 |
| 地址： | 310018 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于热对流原理的微机械加速度传感器的设计及其制作方法。本发明所涉及的热对流式微机械加速度传感器没有在硅片上开孔形成腔结构，而是通过BCB键合胶把玻璃盖板和硅片键合来形成密闭空腔，并且在所述的第一基底上制作了一层聚酰亚胺膜来防止热量散失，保证热气团更好地发挥作用和降低功耗，另外聚酰亚胺膜也可以防止铂电极漏电，这种设计使工艺过程变得简单而且制作出来的传感器结构更稳定，可靠性高，性能也更好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 对流 原理 微机 加速度 传感器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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