[发明专利]一种微机电两轴陀螺仪有效
| 申请号： | 201710432994.8 | 申请日： | 2017-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN107167123B | 公开（公告）日： | 2022-04-05 |
| 发明（设计）人： | 邹波;郭梅寒 | 申请（专利权）人： | 深迪半导体（绍兴）有限公司 |
| 主分类号： | G01C19/5712 | 分类号： | G01C19/5712 |
| 代理公司： | 上海剑秋知识产权代理有限公司 31382 | 代理人： | 杨飞 |
| 地址： | 312030 浙江省绍兴市柯桥区柯桥*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种微机电两轴陀螺仪，驱动结构包括驱动质量块和驱动电极，驱动质量块与驱动电极构成驱动电容；驱动电容用于驱动所述驱动质量块在一特定方向上做往复振动；每个检测结构包括检测质量块和检测电极，检测质量块与检测电极构成检测电容；检测电容用于检测驱动质量块上产生的科氏力带动检测质量块绕第一轴或第二轴运动而引起的电容变化。由于驱动质量块做往复振动的方向与检测质量块运动的方向即绕第一轴和第二轴运动的方向均不同，因此，在无角速度输入即无科氏力的情况下，驱动质量块不会带动检测质量块运动，从而可以实现驱动模态下驱动结构和检测结构的机械解耦，进而可以减小陀螺仪的输出正交误差，提高陀螺仪的输出精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微机 电两轴 陀螺仪 | ||
【主权项】：
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