[发明专利]一种PERC电池背面钝化工艺

摘要

本发明属于太阳能电池领域，具体涉及一种PERC电池背面钝化工艺，包括制绒，扩散，刻蚀和背面抛光，之后热风烘干硅片，将硅片180°翻转使硅片背面向上，臭氧处理使背面形成SiO2膜正面氧化处理，背面镀钝化膜，正面镀钝化膜；所述正面氧化处理为退火处理热氧化方法形成SiO2膜。本发明的PERC电池背面钝化工艺背面形成厚度均匀的氧化硅膜，SiO2与Si匹配性更好；可有效降低Si表面的界面态密度，从而增加Al2O3的场钝化效果。降低了EL降级的几率，提高了A级良率，能够降低PERC电池生产成本，提高电池性能，在能源方面极具重要意义。

主权项

一种PERC电池背面钝化工艺，其特征在于，包括制绒，扩散，刻蚀和背面抛光，之后热风烘干硅片，将硅片180°翻转使硅片背面向上，臭氧处理使背面形成SiO2膜，正面氧化处理，背面镀钝化膜，正面镀钝化膜；所述正面氧化处理为退火处理热氧化方法形成SiO2膜。