[发明专利]硬掩模用组合物有效
| 申请号： | 201710413831.5 | 申请日： | 2017-06-05 |
| 公开（公告）号： | CN107526253B | 公开（公告）日： | 2022-01-04 |
| 发明（设计）人： | 崔汉永;梁敦植 | 申请（专利权）人： | 东友精细化工有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/11 | 分类号： | G03F7/11 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 金鲜英;宋海花 |
| 地址： | 韩国全*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明提供一种硬掩模用组合物，其包含含有选自由下述化学式1‑1和1‑2组成的组中的至少一种重复单元的共聚物和溶剂。下述化学式1‑1中，Ar |
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| 搜索关键词： | 硬掩模用 组合 | ||
【主权项】：
一种硬掩模用组合物，其包含共聚物和溶剂，所述共聚物包含选自由下述化学式1‑1和化学式1‑2组成的组中的至少一种重复单元，化学式1‑1式中，Ar1和Ar2各自独立地为碳原子数6～30的二价芳烃基，R1为碳原子数1～6的烷基或碳原子数6～35的芳基，所述Ar1、Ar2和R1各自独立地可被碳原子数1～6的烷基、羟基、甲氧基或苯基进一步取代，n为1～190的整数，化学式1‑2式中，Ar1和Ar2各自独立地为碳原子数6～30的二价芳烃基，R2为氢原子或碳原子数1～6的烷基，所述Ar1和Ar2各自独立地可被碳原子数1～6的烷基、羟基、甲氧基或苯基进一步取代，n为1～190的整数。
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