[发明专利]一种LED晶片多金异常的处理方法

摘要

本发明涉及一种LED晶片多金异常的处理方法。该方法包括：对晶片进行超声处理，再通过高压水进行表面冲洗，通过去胶及剥离去掉大部分多余金属，最后通过氧气等离子体清洗的物理轰击，将剩余的少量金属和残留胶去掉，得到边缘整齐表面洁净的电极。该方法不需要使用腐蚀性溶液就可以做到彻底去除残留金属，不会对管芯结构产生影响，很大程度上提高了管芯的良率，且该方法步骤简便，耗时少，完全做到了彻底去除多金异常现象，通过本发明处理的管芯，电极表面洁净，无残留金属。

主权项

1.一种LED晶片多金异常的处理方法，包括：‑提供存在多金异常的蓝宝石晶片，所述蓝宝石晶片是以蓝宝石为衬底的氮化镓基LED晶片，下称晶片；‑超声提供水或者有机溶剂为超声介质液，将上述晶片放置到所述超声介质液中进行超声处理；超声频率30‑50kHz；‑高压水冲洗超声处理后的晶片，放置到自动清洗机的载片盘上，使用高压水进行冲洗；‑去胶及剥离将冲洗步骤完成后的晶片，放置到去胶液中进行浸泡，浸泡后的晶片在有机溶剂中涮洗去除去胶液，然后将晶片放置到无水乙醇中去掉残留的去胶液和有机溶剂，最后使用蓝膜覆盖晶片表面进行剥离，去掉残留金属；‑等离子体清洗将剥离步骤完成后的晶片放置到氧气等离子体装置内进行等离子体清洗。