[发明专利]一种可动镜片调整机构有效
| 申请号： | 201710401926.5 | 申请日： | 2017-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN108983381B | 公开（公告）日： | 2020-12-11 |
| 发明（设计）人： | 彭云平 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B7/00 | 分类号： | G02B7/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种可动镜片调整机构，所述可动镜片调整机构包括：可动镜片组件，包括光学镜片和固定所述光学镜片的镜座；驱动机构组件，设置在所述可动镜片组件的下方并用于调整所述可动镜片组件的位置；支撑座，所述驱动机构组件安装在所述支撑座上；通过所述驱动机构组件的运动实现所述可动镜片组件的三个自由度调整。本发明的可动镜片调整机构不仅结构简单，而且径向尺寸小。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 镜片 调整 机构 | ||
【主权项】：
1.一种可动镜片调整机构，其特征在于，包括：可动镜片组件，包括光学镜片和固定所述光学镜片的镜座；驱动机构组件，设置在所述可动镜片组件的下方并用于调整所述可动镜片组件的位置；支撑座，所述驱动机构组件安装在所述支撑座上；通过所述驱动机构组件的运动实现所述可动镜片组件的三个自由度调整。
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