[发明专利]一种阵列基板及其制作方法、显示装置

摘要

本发明提供了一种阵列基板及其制作方法、显示装置，该阵列基板中开关薄膜晶体管和驱动薄膜晶体管包括有源层、平坦化栅绝缘层和栅极，有源层均设置于基底上，开关薄膜晶体管的有源层的厚度大于驱动薄膜晶体管的有源层的厚度；开关薄膜晶体管和驱动薄膜晶体管共用平坦化栅绝缘层，设置于有源层和裸露的基底上；开关薄膜晶体管的栅极和驱动薄膜晶体管的栅极设置于平坦化栅绝缘层上。本发明工艺简单，可以提高阵列基板的制作效率。

主权项

一种阵列基板，包括呈阵列排布的多个像素单元，每个所述像素单元包括耦合连接的开关薄膜晶体管和驱动薄膜晶体管，所述开关薄膜晶体管和所述驱动薄膜晶体管均包括有源层、平坦化栅绝缘层和栅极，其中，所述开关薄膜晶体管的有源层和所述驱动薄膜晶体管的有源层均设置于基底上，并且所述开关薄膜晶体管的有源层的厚度大于所述驱动薄膜晶体管的有源层的厚度；所述开关薄膜晶体管和所述驱动薄膜晶体管共用平坦化栅绝缘层，所述平坦化栅绝缘层设置于所述开关薄膜晶体管的有源层、所述驱动薄膜晶体管的有源层和裸露的基底上；所述开关薄膜晶体管的栅极对应其有源层设置于所述平坦化栅绝缘层上，所述驱动薄膜晶体管的栅极对应其有源层设置于所述平坦化栅绝缘层上。