[发明专利]TOC型OLED显示器的制作方法及TOC型OLED显示器

摘要

本发明提供一种TOC型OLED显示器的制作方法及TOC型OLED显示器。该TOC型OLED显示器的制作方法，在制备出彩色滤光层后，通过旋涂掺杂有锂的氧化锌溶液形成掺杂有锂的氧化锌涂层，再对掺杂有锂的氧化锌涂层做退火处理的方式制备出TFT的沟道层，制程温度可低至200℃，满足制作TOC型OLED显示器的温度限制条件，且操作简单，无需使用昂贵的真空设备；采用锂代替铟、镓等昂贵稀有金属掺杂在沟道层中，不仅能够提高TFT的电学性能，而且材料成本低，更经济环保。

主权项

一种TOC型OLED显示器的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤S1、提供衬底基板(1)，对衬底基板(1)进行清洗和预烘烤；步骤S2、沉积黑色遮光薄膜，对黑色遮光薄膜进行图案化处理，形成黑色矩阵(2)；步骤S3、在所述黑色矩阵(2)内依次沉积不同颜色的色阻，形成彩色滤光层(3)；步骤S4、在所述彩色滤光层(3)上沉积形成平坦层(4)；步骤S5、在所述平坦层(4)上沉积第一金属层，对第一金属层进行图案化处理，形成栅极(5)；步骤S6、在所述栅极(5)与平坦层(4)上沉积覆盖栅极绝缘层(6)；步骤S7、配置掺杂有锂的氧化锌溶液，将配置好的掺杂有锂的氧化锌溶液旋涂在栅极绝缘层(6)上形成掺杂有锂的氧化锌涂层，然后对掺杂有锂的氧化锌涂层做退火处理，再对掺杂有锂的氧化锌涂层进行图案化处理，形成沟道层(7)；步骤S8、沉积刻蚀阻挡层(8)，并对刻蚀阻挡层(8)进行图案化处理，形成分别暴露出沟道层(7)两侧的第一过孔(81)、与第二过孔(82)；步骤S9、在所述刻蚀阻挡层(8)上沉积第二金属层，并对第二金属层进行图案化处理，形成源极(91)、与漏极(92)；所述源极(91)、漏极(92)分别经由第一过孔(81)、第二过孔(82)接触沟道层(7)的两侧；步骤S10、在所述刻蚀阻挡层(8)、源极(91)、及漏极(92)上依次制作出保护层(10)、阳极(11)、像素定义层(12)、OLED发光层(13)、及阴极(14)。