[发明专利]基于微等离子体喷枪产生大尺度大气压辉光放电的装置及方法

摘要

本发明提供了一种基于微等离子体喷枪产生大尺度大气压辉光放电的装置及方法，该装置包括放电机构、供气机构和供电机构；所述放电机构包括介质管、针电极、环电极以及平板电极，所述针电极位于所述介质管内，所述介质管的一端敞口，所述环电极位于所述介质管的敞口端处并与地线相接，所述平板电极与所述介质管的敞口端相对设置，在所述介质管上远离敞口端的位置设有进气口，所述进气口与所述供气机构相连。本发明可在介质管敞口端的开放环境内产生大尺度大气压辉光放电，所用工作气体流量小，且放电均匀持续，适宜大规模工业化应用。

主权项

一种基于微等离子体喷枪产生大尺度大气压辉光放电的装置，包括放电机构、供气机构和供电机构；其特征是，所述放电机构包括介质管、针电极、环电极以及平板电极，所述针电极位于所述介质管内，所述介质管的一端敞口，所述环电极位于所述介质管的敞口端处并与地线相接，所述平板电极与所述介质管的敞口端相对设置，在所述介质管上远离敞口端的位置设有进气口，所述进气口与所述供气机构相连；所述放电机构设置于开放空间内，所述针电极靠近环电极的一端为放电端，在所述针电极的放电端与平板电极之间形成放电区域；所述供气机构包括供气管路和提供工作气体的气瓶，所述供气管路的一端与所述介质管的进气口相连通，所述供气管路的另一端连接所述气瓶，在所述供气管路上设置有气阀、气压表和流量计；所述供电机构包括第一高压直流电源和第二高压直流电源，所述第一高压直流电源电连接所述针电极，所述第二高压直流电源电连接所述平板电极；在所述第一高压直流电源与针电极之间连接有第一镇流电阻，在所述第二高压直流电源与平板电极之间连接有第二镇流电阻。