[发明专利]半导体元件有效
申请号: | 201710375322.8 | 申请日: | 2017-05-24 |
公开(公告)号: | CN108933172B | 公开(公告)日: | 2020-05-15 |
发明(设计)人: | 张金;魏洋;姜开利;范守善 | 申请(专利权)人: | 清华大学;鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 |
主分类号: | H01L29/778 | 分类号: | H01L29/778;H01L29/43;B82Y30/00;B82Y10/00 |
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地址: | 100084 北京市海淀区清*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 一种半导体元件,其包括一半导体结构,所述半导体结构包括一P型半导体层及一N型半导体层,并定义一第一表面及与第一表面相对的第二表面;一碳纳米管,该碳纳米管设置于半导体结构的第一表面;一导电膜,该导电膜通过沉积方法形成于所述半导体结构的第二表面,使半导体结构设置于碳纳米管和导电膜之间,碳纳米管、半导体结构与导电膜相互层叠形成一多层立体结构。 | ||
搜索关键词: | 半导体 元件 | ||
【主权项】:
1.一种半导体元件,其包括:一半导体结构,所述半导体结构包括相互层叠设置的P型半导体层及N型半导体层,并定义一第一表面及与第一表面相对的第二表面;一碳纳米管,该碳纳米管设置于半导体结构的第一表面;一导电膜,该导电膜通过沉积方法形成于所述半导体结构的第二表面,使半导体结构设置于碳纳米管和导电膜之间,碳纳米管、半导体结构与导电膜相互层叠形成一多层立体结构。
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