[发明专利]一种表面等离子波导的NH3浓度测量装置在审
申请号: | 201710371332.4 | 申请日: | 2017-05-24 |
公开(公告)号: | CN107101973A | 公开(公告)日: | 2017-08-29 |
发明(设计)人: | 朱君;徐政杰;秦柳丽;傅得立 | 申请(专利权)人: | 广西师范大学 |
主分类号: | G01N21/41 | 分类号: | G01N21/41;G02B6/122 |
代理公司: | 桂林市华杰专利商标事务所有限责任公司45112 | 代理人: | 刘梅芳 |
地址: | 541004 广西壮*** | 国省代码: | 广西;45 |
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摘要: | 本发明公开了一种表面等离子波导的NH3浓度测量装置,其特征是,所述装置为双通道微环的结构,包括上层通道和下层通道,所述上层通道和下层通道之间设有微环,上层通道为NH3气体通道,下层通道为光信号通道。这种NH3浓度测量装置成本低、能够实现高灵敏性、能应用在特殊环境测量,抗干扰性能好,与同类气体传感器相比量程更大、同时保持较高分辨率和线性度。 | ||
搜索关键词: | 一种 表面 等离子 波导 nh3 浓度 测量 装置 | ||
【主权项】:
一种表面等离子波导的NH3浓度测量装置,其特征是,所述装置为双通道微环的结构,包括上层通道和下层通道,所述上层通道和下层通道之间设有微环,上层通道为NH3气体通道,下层通道为光信号通道。
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