[发明专利]一种谐振式双轴微机械轮式陀螺

摘要

本发明涉及一种谐振式双轴微机械轮式陀螺，其特征在于：它包括衬底，锚点，中心轴，驱动折叠梁，内环框架，外环框架，检测X轴扭转梁，检测Y轴扭转梁，检测质量块，检测电容、驱动梳齿电容及驱动反馈梳齿电容。内环框架内通过驱动折叠梁与中心轴相连，内环框架外通过检测X轴扭转梁与外环框架相连，外环框架外通过检测Y轴扭转梁与检测质量块相连。内环框架的内测和外侧分别连接驱动反馈梳齿电容的可动电极和驱动梳齿电容的可动电极。各梳齿电容的固定电极连接在衬底上，检测电容的可动电极连接在检测质量块上，固定电极连接在衬底上。本发明工艺过程简单，可用于实现单质量块双轴陀螺，并可以实现大批量生产。

主权项

1.一种谐振式双轴微机械轮式陀螺，用于检测围绕水平面内X、Y轴的旋转，其特征在于：它包括衬底，锚点，中心轴，驱动折叠梁，内环框架，外环框架，检测X轴扭转梁，检测Y轴扭转梁，检测质量块，检测电容、驱动梳齿电容及驱动反馈梳齿电容；所述驱动梳齿电容和驱动反馈梳齿电容分别包括可动电极和固定电极；所述锚点，驱动折叠梁，内环框架，外环框架，检测质量块，驱动梳齿电容及驱动反馈梳齿电容相对于陀螺X、Y轴对称分布，所述检测X轴扭转梁相对于陀螺X轴对称分布，所述检测Y轴扭转梁相对于陀螺Y轴对称分布；所述中心轴固定连接在所述衬底上，所述内环框架通过所述驱动折叠梁与所述中心轴固定连接，所述驱动梳齿电容的可动电极与所述内环框架固定连接，所述驱动反馈梳齿电容的可动电极与所述内环框架连接，所述外环框架通过所述检测X轴扭转梁与所述内环框架连接，所述检测质量块通过所述检测Y轴扭转梁与所述外环框架连接；所述驱动梳齿电容的固定电极及所述驱动反馈梳齿电容的固定电极通过各自的锚点固定连接在所述衬底上，所述检测电容的可动电极固定在所述检测质量块上，所述检测电容的固定电极固定在所述衬底上。