[发明专利]感光性树脂组合物和由其制造的光固化图案有效
申请号: | 201710363134.3 | 申请日: | 2017-05-22 |
公开(公告)号: | CN107422603B | 公开(公告)日: | 2022-03-08 |
发明(设计)人: | 崔硕均;崔和燮;朴汉雨 | 申请(专利权)人: | 东友精细化工有限公司 |
主分类号: | G03F7/027 | 分类号: | G03F7/027;G03F7/004;G02F1/1339 |
代理公司: | 北京市中伦律师事务所 11410 | 代理人: | 石宝忠 |
地址: | 韩国全*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供感光性树脂组合物,其具有固化后优异的弹性回复率,同时能够形成具有使外部压力引起的变形小的坚硬特性的光固化图案,微细图案的实现性优异,通过调节光聚合引发剂的量,能够调节图案的大小。本发明涉及感光性树脂组合物,更详细地说,涉及感光性树脂组合物,其包含碱可溶性树脂(A)、光聚合引发剂(B)、光聚合性化合物(C)、溶剂(D),上述碱可溶性树脂(A)包含第1树脂和第2树脂,上述光聚合引发剂(B)包含特定结构的化合物。 | ||
搜索关键词: | 感光性 树脂 组合 制造 光固化 图案 | ||
【主权项】:
感光性树脂组合物,其特征在于,包含碱可溶性树脂(A)、光聚合引发剂(B)、光聚合性化合物(C)和溶剂(D),所述碱可溶性树脂(A)包含含有选自下述化学式1和化学式2中的至少1种的化合物而聚合成的第1树脂和含有具有脂环式环氧基的化合物而聚合成的第2树脂,所述光聚合引发剂(B)包含由下述化学式3表示的化合物,[化学式1]所述化学式1中,R1为氢、(C1‑C12)烷基、烯丙基、苯基、苄基、卤素或(C1‑C8)烷氧基,[化学式2]所述化学式2中,R2为氢、(C1‑C12)烷基、烯丙基、苯基、苄基、卤素或(C1‑C8)烷氧基,n为1~10的整数,[化学式3]所述化学式3中,R3和R4各自独立地为氢或硝基,不过,R3和R4中的至少一个为硝基,R5和R6各自独立地为(C1‑C20)烷基、(C6‑C20)芳基、(C6‑C20)芳基(C1‑C20)烷基、羟基(C1‑C20)烷基、羟基(C1‑C20)烷氧基(C1‑C20)烷基或(C3‑C20)环烷基。
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