[发明专利]一种基于导电油墨的力传感器芯片及其3D打印制作方法

摘要

一种基于导电油墨的力传感器芯片及其3D打印制作方法，力传感器芯片包括带有悬臂梁的树脂框架结构，在悬臂梁末端制作的银导线与电极以及跨接在银导线与电极上的压阻材料薄膜；制作方法采用3D打印工艺，将银导线与电极、压阻材料薄膜直接制作在树脂框架结构之上，实现了三维复合结构传感器的一体化制造，避免了用胶粘贴所带来的定位误差与检测灵敏度的降低，具有加工成本低、加工周期短、制作简便、材料选择多样化等优点。

主权项

1.一种基于导电油墨的力传感器芯片的3D打印制作方法，其特征在于，包括以下步骤：1)运用激光快速成型机固化树脂材料形成预定尺寸的带有悬臂梁的树脂框架结构(1)；2)将加工好的树脂框架结构(1)依次置于酒精、去离子水中各超声清洗处理5min；取出树脂框架结构(1)后将其置于烘箱中60℃烘烤10min使其完全干燥；3)将清洁并干燥后的树脂框架结构(1)置于气动式喷墨打印机下，按设计的银导线与电极(2)的图案喷印纳米银墨水于树脂框架结构(1)上悬臂梁末端的预定位置，重复喷印5次；4)取出喷印好纳米银墨水的树脂框架结构(1)置于强制对流烘箱中，130℃烘烤30min，取出后自然冷却至室温；5)将冷却后的树脂框架结构(1)置于气动式喷墨打印机下，按设计的压阻材料薄膜(3)的图案喷印PEDOT:PSS墨水于树脂框架结构(1)上悬臂梁末端的预定位置，重复喷印10次；6)取出喷印好PEDOT:PSS墨水的树脂框架结构(1)置于强制对流烘箱中，90℃烘烤30min，取出后自然冷却至室温；所述的一种基于导电油墨的力传感器芯片，包括带有悬臂梁的树脂框架结构(1)，在悬臂梁末端制作的银导线与电极(2)以及跨接在银导线与电极(2)上的压阻材料薄膜(3)；所说的树脂框架结构(1)由光固化树脂材料制成；所述的银导线与电极(2)由导电油墨纳米银墨水制成；所述的压阻材料薄膜(3)由导电油墨PEDOT:PSS[聚(3,4‑亚乙二氧基噻吩)‑聚(苯乙烯磺酸)]制成。