[发明专利]VCSEL阵列光源有效
申请号: | 201710340137.5 | 申请日: | 2017-05-15 |
公开(公告)号: | CN107026392B | 公开(公告)日: | 2022-12-09 |
发明(设计)人: | 王兆民;闫敏;许星 | 申请(专利权)人: | 奥比中光科技集团股份有限公司 |
主分类号: | H01S5/42 | 分类号: | H01S5/42;G03B21/20 |
代理公司: | 深圳新创友知识产权代理有限公司 44223 | 代理人: | 江耀纯 |
地址: | 518000 广东省深圳市南山区粤*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种VCSEL阵列光源、VCSEL阵列光源的图案设计方法、激光投影装置及3D成像设备。其中,所述VCSEL阵列光源,包括:半导体衬底;多个VCSEL光源以二维阵列的形式排列在所述半导体衬底上;所述二维阵列由至少一个子阵列通过变换的方式产生。分布在半导体衬底表面的VCSEL光源具有极高的不相关性,解决了现有技术中用于3D成像的VCSEL光源的不相关性低的问题,本发明的VCSEL阵列主要应用在深度相机中。 | ||
搜索关键词: | vcsel 阵列 光源 | ||
【主权项】:
一种VCSEL阵列光源,其特征在于,包括:半导体衬底;多个VCSEL光源以二维阵列的形式排列在所述半导体衬底上;所述二维阵列由至少一个子阵列通过变换的方式产生。
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