[发明专利]实现工件氮化均温的离子渗氮装置

摘要

本发明涉及离子渗氮装置，尤其涉及一种实现工件氮化均温的离子渗氮装置，其包括炉体、炉底盘、多功能活性屏、上传动系统、下传动系统、进气系统、抽气系统，其特征在于，炉体为圆筒形，炉底盘为圆盘形，炉体放置于炉底盘正上方形成炉腔；多功能活性屏垂直悬挂于炉腔内，上传动系统固定于炉体顶部，上传动系统驱动多功能活性屏顺时针转动；下传动系统固定于炉底盘，下传动系统带动工件逆时针转动；进气系统由上传动系统的进气部分和多功能活性屏的进气部分组成；抽气系统由主抽气管和分抽气管组成。本发明设计的离子渗氮装置有效提升进气与抽气的均匀性、提高气体的分解率、稳定阴阳极之间的距离，从而实现工件氮化温度的均一性，保证渗氮层厚度及性能的一致性。本发明涉及的装置也适合材料表面的物理气相沉积及化学气相沉积。

主权项

1.一种实现工件氮化均温的离子渗氮装置，包括炉体、炉底盘、多功能活性屏、上传动系统、下传动系统、进气系统、抽气系统，其特征在于，炉体为圆筒形，炉底盘为圆盘形，炉体放置于炉底盘正上方形成炉腔；多功能活性屏垂直悬挂于炉腔内，上传动系统固定于炉体顶部，上传动系统驱动多功能活性屏顺时针转动；下传动系统固定于炉底盘，下传动系统带动工件逆时针转动；进气系统由上传动系统的进气部分和多功能活性屏的进气部分组成；抽气系统由主抽气管和分抽气管组成；所述多功能活性屏为圆筒形空心夹层结构，多功能活性屏筒壁内外层设置均匀分布的圆管，多功能活性屏筒壁内层设置均匀分布的圆形通孔，圆管与圆形通孔间隔分布，空心夹层和圆形通孔为多功能活性屏的进气部分，多功能活性屏的顶部中心位置固定连接上传动系统的进气传动管底部。