[发明专利]石英舟及太阳能电池扩散工艺

摘要

本发明公开了一种石英舟及太阳能电池扩散工艺，该石英舟包括至少三根槽棒，每一根槽棒上设有若干相对应的用于放置硅片的齿槽，槽棒上相邻齿槽之间的齿间距以进气端第1个齿间距为基准成等比数列递增。太阳能电池扩散工艺包括进舟工序、恒温工序和扩散工艺。本发明的石英舟可提高硅片在扩散管内不同区域接触扩散源几率的一致性，且本发明太阳能电池扩散工艺，不仅可以降低扩散氮源的用量，还能提高片内、片间扩散掺杂纵向浓度分布的一致性进而提高量产电池转换效率的一致性。相比常规扩散工艺，采用本发明石英舟和扩散工艺进行扩散后制成的电池片的平均效率提高了0.05％，同时电池转换效率＜18.0％的低效电池片比例降低了1.5％。

主权项

一种石英舟，其特征在于，包括至少三根槽棒，每一根所述槽棒上设有若干相对应的用于放置硅片的齿槽；所述槽棒上相邻齿槽之间的齿间距以进气端第1个齿间距为基准成等比数列递增。