[发明专利]一种双层偏振非制冷红外探测器结构及其制备方法

摘要

本发明涉及一种双层偏振非制冷红外探测器结构，包括半导体基座和探测器本体，所述探测器本体包括绝缘介质层、金属反射层、第一支撑层、金属电极层、第一保护层、第二支撑层、电极金属层、热敏层和第二保护层，所述第一支撑层和绝缘介质层之间形成第一谐振腔，所述第一保护层和第二支撑层之间形成第二谐振腔，所述电极金属层上设有热敏层，双层结构提高了像元的红外吸收效率，在第二保护层上设有偏振结构，可以实现偏振敏感型红外探测器的单片集成，而且极大的降低了光学设计的难度；还涉及上述探测器结构的制备方法，包括制备双层非制冷红外探测器的步骤，还包括在双层非制冷红外探测器上制备偏振结构的步骤。

主权项

一种双层偏振非制冷红外探测器结构，包括一包含读出电路的半导体基座和一带微桥支撑结构的探测器本体，所述半导体基座的读出电路与所述探测器本体电连接，其特征在于，所述探测器本体包括绝缘介质层、金属反射层、第一支撑层、金属电极层，所述半导体基座上设有金属反射层和绝缘介质层，所述金属反射层包括若干个金属块；所述金属块上设有第一支撑层，所述绝缘介质层与所述第一支撑层之间形成第一谐振腔，所述第一支撑层上设有第一通孔，所述第一通孔终止于所述金属块，所述第一支撑层上和第一通孔内设有金属电极层，所述金属电极层包括设置在所述第一支撑层上的金属电极和设置在所述第一通孔内的金属连线；所述金属电极层上设有第一保护层，所述第一保护层上设有第二支撑层，所述第二支撑层与所述第一保护层之间形成第二谐振腔，所述第二支撑层上设有第二通孔，所述第二通孔终止于所述金属电极，所述第二支撑层上和第二通孔内设有电极金属层，所述电极金属层包括设置在所述第二通孔内的电极金属连线和设置在所述第二支撑层上电极金属；所述电极金属上设有热敏层，所述热敏层通过所述电极金属层与所述金属电极层电连接；所述热敏层上和电极金属层上设有第二保护层；所述第二保护层上设有金属光栅结构，所述金属光栅结构包括若干个依次排列的金属光栅，相邻所述金属光栅之间的间隔为10～500nm。