[发明专利]阻抗匹配装置及半导体加工设备有效
| 申请号： | 201710325459.2 | 申请日： | 2017-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN108878240B | 公开（公告）日： | 2020-08-21 |
| 发明（设计）人： | 范光涛 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;张天舒 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种阻抗匹配装置。该装置包括：匹配网络，串接在射频电源和反应腔室之间，包括阻抗可调元件；多个适用不同射频功率检测范围的采集单元，多个采集单元并联后串接在射频电源和匹配网络之间，该采集单元用于采集射频电源和匹配网络之间所在传输线上的电信号并发送至控制单元；功率检测单元，用于检测射频电源当前输出的功率信号并发送至控制单元；控制单元，用于根据功率检测单元检测的功率信号大小选择适应的采集单元进行检测，并根据采集单元采集到的电信号来调节匹配网络中的阻抗可调元件。本发明还公开一种包含阻抗匹配装置的半导体加工设备。本发明可以在射频电源输出的射频功率大小连续变化时，实现自动匹配并提高匹配效果。 | ||
| 搜索关键词： | 阻抗匹配 装置 半导体 加工 设备 | ||
【主权项】：
1.一种阻抗匹配装置，其特征在于，包括：匹配网络，串接在射频电源和反应腔室之间，包括阻抗可调元件；多个适用不同射频功率检测范围的采集单元，多个所述采集单元并联设置后串接在所述射频电源和匹配网络之间，每个采集单元用于采集所述射频电源和所述匹配网络之间所在传输线上的电信号并发送至控制单元；功率检测单元，用于检测所述射频电源当前输出的功率信号并发送至控制单元；控制单元，用于根据所述功率检测单元检测的功率信号大小选择适应的所述采集单元进行检测，并根据所述采集单元采集到的电信号来调节匹配网络中的阻抗可调元件。
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