[发明专利]一种压电陶瓷微位移光干涉检测控制装置

摘要

本发明属于精密位移测量与控制领域，涉及了一种压电陶瓷微位移光干涉检测控制装置。一种压电陶瓷微位移光干涉检测控制装置，包括半导体稳频激光器、分束立方体、光路放大装置、光电转换装置、数据采集模块、控制主机。控制主机发出第一电压信号，使光路放大装置中的动镜与定镜之间的相对位置发生变化，利用光路放大装置将微小位移转化为数倍于它的光程，使迈克尔逊干涉装置测量精度达到纳米级。

主权项

1.一种压电陶瓷微位移光干涉检测控制装置，其特征在于：包括半导体稳频激光器、分束立方体、光路放大装置、光电转换装置、数据采集模块、控制主机；光路放大装置包括背部粘贴有压电陶瓷的动镜、安装在旋转台上的定镜、参考镜，旋转台用于改变定镜和动镜间的夹角；光电转换装置包括光电二极管以及相应的放大电路、滤波电路，用于将干涉条纹的明暗变化转换为第二电压信号的变化；数据采集模块为基于FPGA的数据采集系统，对光电转换装置得到的第二电压信号进行采样，通过采样第二电压数据的变化幅度反映干涉条纹移动数目，并将其反馈给控制主机，控制主机控制旋转台转动使定镜和动镜成合适的角度，然后半导体稳频激光器向分束立方体发出激光，由半导体稳频激光器发出的激光经过分束立方体被分成两束，一束经过参考镜后返回，另一束经过光路放大装置后返回，两束返回的激光在分束立方体处重新相遇，发生干涉；光电转换装置检测干涉条纹的明暗变化并转换为第二电压信号的变化供数据采集模块进行采样，数据采集模块将采样的第二电压数据反馈给控制主机；控制主机向压电陶瓷发出第一电压信号驱动压电陶瓷产生位移，从而使进入光路放大装置中的光束的光程发生变化，进而使干涉条纹进行移动，控制主机通过记录的第二电压信号获得压电陶瓷的位移情况，进而向压电陶瓷发出第一电压的补偿电压，对压电陶瓷进行控制。