[发明专利]一种蒸镀装置有效
| 申请号： | 201710318766.8 | 申请日： | 2017-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN106939408B | 公开（公告）日： | 2019-09-13 |
| 发明（设计）人： | 夏存军;邹新 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/04;C23C14/50;C23C14/56 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 430079 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种蒸镀装置，包括主腔室以及至少一个通过阀门与主腔室相通的副腔室；其中，副腔室包括吸附台板、吸附管以及固定件，对待蒸镀基板进行蒸镀时，吸附管通过固定件以及吸附台板将待蒸镀基板吸附至吸附台板上，将待蒸镀基板与掩膜板进行对位，并通过固定件固定待蒸镀基板与掩膜板。本发明的蒸镀装置，通过设置一与主腔室相通的副腔室，并在副腔室中设置吸附台板、吸附管以及固定件，对待蒸镀基板进行蒸镀时，吸附管通过固定件以及吸附台板将待蒸镀基板吸附至吸附台板上，将待蒸镀基板与掩膜板进行对位，并通过固定件固定所述待蒸镀基板与所述掩膜板，从而提高待蒸镀基板与掩膜板的对位精度，避免混色现象，提高色质。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸镀基板 固定件 吸附台 掩膜板 副腔室 吸附管 蒸镀装置 主腔室 对位 吸附 蒸镀 相通 混色现象 阀门 色质 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括主腔室以及至少一个通过阀门与所述主腔室相通的副腔室；其中，所述副腔室包括吸附台板、吸附管以及固定件，所述固定件设于所述吸附台板上方；对待蒸镀基板进行蒸镀时，所述吸附管通过所述固定件以及所述吸附台板将所述待蒸镀基板吸附至所述吸附台板上，将所述待蒸镀基板与掩膜板进行对位，并通过所述固定件固定所述待蒸镀基板与所述掩膜板；所述吸附台板上设有第一通孔，所述固定件上设有第二通孔，所述第一通孔与所述第二通孔一一对应，以使得所述吸附管通过所述第一通孔与所述第二通孔吸附所述待蒸镀基板，并在所述吸附管的吸附力的作用下，在所述吸附台板表面进行拉平作用；所述第一通孔与所述第二通孔均为多个，且均等间距设置，所述吸附台板表面平整。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于武汉华星光电技术有限公司，未经武汉华星光电技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710318766.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种老化树脂的纯化方法
- 下一篇：一种重金属铬离子废水的环保处理方法
- 同类专利
- 专利分类
