[发明专利]自支撑超薄柔性高性能有机薄膜场效应晶体管及其制备方法

摘要

本发明公开了自支撑超薄柔性高性能有机薄膜场效应晶体管及其制备方法。该有机薄膜场效应晶体管的制备方法，包括如下步骤：1)对衬底表面进行羟基化处理，之后在表面上连接十八烷基三氯硅烷；2)在经过步骤1)处理的衬底表面制备金属栅电极或导电聚合物栅电极；3)在步骤2)金属栅电极或导电聚合物栅电极的表面制备聚合物绝缘层；4)在步骤3)聚合物绝缘层的表面制备有机半导体层；5)在步骤4)有机半导体层的表面制备金属源电极和金属漏电极；6)用胶带粘贴步骤5)除衬底外的器件的四周，将器件从衬底上剥离下来。本发明采用干法剥离得到了无衬底的器件结构，可在室温环境下操作，剥离过程简单迅速，不会对器件结构造成腐蚀破坏影响性能。

主权项

1.一种有机薄膜场效应晶体管的制备方法，包括如下步骤：(1)对衬底表面进行羟基化处理，之后在表面上连接十八烷基三氯硅烷；(2)在经过步骤(1)处理的衬底表面制备金属栅电极或导电聚合物栅电极；(3)在步骤(2)得到的金属栅电极或导电聚合物栅电极的表面制备聚合物绝缘层；(4)在步骤(3)得到的聚合物绝缘层的表面制备有机半导体层；(5)在步骤(4)得到的有机半导体层的表面制备金属源电极和金属漏电极；(6)用胶带粘贴步骤(5)得到的除衬底外的器件的四周，将所述除衬底外的器件从所述衬底上剥离下来，即可得到所述有机薄膜场效应晶体管。