[发明专利]一种薄膜制作方法及系统有效
| 申请号： | 201710313249.1 | 申请日： | 2017-05-05 |
| 公开（公告）号： | CN107146859B | 公开（公告）日： | 2019-10-11 |
| 发明（设计）人： | 廖金龙;闫光;吴长晏 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L51/56 | 分类号： | H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 周娟 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开一种薄膜制作方法及系统，涉及薄膜制作技术领域，为提高制得薄膜的厚度均匀性。所述薄膜制作方法包括：在衬底基板形成覆盖衬底基板表面的油墨层，向油墨层吹气，使得油墨层中的溶剂向衬底基板四周区域展开；去除油墨层中的溶剂，使得油墨层中的成膜材料形成覆盖在衬底基板表面的薄膜。所述薄膜制作系统包括上述技术方案所提的薄膜制作方法。本发明提供的薄膜制作方法用于制作薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 制作方法 系统 | ||
【主权项】：
1.一种薄膜制作方法，其特征在于，包括：通过喷墨打印的方式在衬底基板形成覆盖衬底基板表面的油墨层，所述油墨层包括液态溶剂和溶解在液态溶剂中的成膜材料；向所述油墨层吹气，使得所述油墨层中的液态溶剂向衬底基板四周区域展开；去除所述油墨层中的液态溶剂，使得所述油墨层中的成膜材料形成覆盖在衬底基板表面的薄膜。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的；具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射；专门适用于将这些辐射能转换为电能，或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的，如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
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