[发明专利]工模具表面复合氮化物涂层制备工艺有效
| 申请号： | 201710305268.X | 申请日： | 2017-05-03 |
| 公开（公告）号： | CN106967977B | 公开（公告）日： | 2019-03-15 |
| 发明（设计）人： | 赵海波;刘亚;鲜广;梁红樱;但秦 | 申请（专利权）人： | 成都真锐科技涂层技术有限公司;成都天科精密制造有限责任公司;四川大学 |
| 主分类号： | C23C28/00 | 分类号： | C23C28/00;C23C14/14;C23C14/06;C23C14/35 |
| 代理公司： | 成都虹桥专利事务所(普通合伙) 51124 | 代理人： | 罗贵飞;梁鑫 |
| 地址： | 610052 四川省成都市成华区东*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种工模具表面复合氮化物涂层制备工艺，属于微纳米涂层技术领域，该工艺是在镀膜时，采用了真空离子蒸发镀与磁控溅射离子镀相结合的二元蒸发源技术；在N2与Ar的混合气氛下，通过电子束蒸发源蒸发Ti元素，形成传统的TiN薄膜，在沉积形成TiN膜的同时，通过磁控溅射源植入Me元素，在工模具表面镀制(Ti，Me)N层；所述Me为Ti、Al、Cr、Si中的至少一种。本发明工艺能够提高工模具的综合性能。 | ||
| 搜索关键词： | 工模 表面 复合 氮化物 涂层 制备 工艺 | ||
【主权项】：
1.工模具表面复合氮化物涂层制备工艺，其特征在于：镀膜时，采用了真空离子蒸发镀与磁控溅射离子镀相结合的二元蒸发源技术；在N2与Ar的混合气氛下，通过电子束蒸发源蒸发Ti元素，形成传统的TiN薄膜，在沉积形成TiN膜的同时，通过磁控溅射源植入Me元素，在工模具表面镀制(Ti，Me)N层；所述Me为Ti、Al、Cr、Si中的至少一种；包括如下步骤：a、镀膜前准备工序；b、镀膜；(1)镀制Ti层；(2)镀制TiN层；(3)镀制(Ti，Me)N层；开启蒸发源和溅射靶源，控制灯丝电流170～230A，氩气流量23～35Sccm，磁场电流23～35A，氮气流量80～120Sccm，弧电流200A，溅射电流1～2A，偏压100～150V。
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