[发明专利]二维纳米柔性运动平台

摘要

本发明公开了一种二维纳米柔性运动平台，二维纳米柔性运动平台包括：基座；终端平台；X向刚度自调节机构，X向刚度自调节机构包括：X向柔性导向件；第一Y向刚性连接件；Y向冗杂件；Y向刚度自调节机构，第一Y向刚度自调节机构包括：Y向柔性导向件；第一X向刚性连接件；X向冗杂件；X向柔性解耦机构，X向柔性解耦机构包括：第一X向柔性解耦件；第二Y向刚性连接件；第一Y向柔性解耦件；Y向柔性解耦机构，Y向柔性解耦机构包括：第二Y向柔性解耦件；第二X向刚性连接件；第二X向柔性解耦件；X向驱动器和Y向驱动器。根据本发明实施例的二维纳米柔性运动平台具有误差小、精度高等优点。

主权项

1.一种二维纳米柔性运动平台，其特征在于，包括：基座；终端平台，所述终端平台位于所述基座的外边沿的内侧；两个X向刚度自调节机构，每个所述X向刚度自调节机构分别与所述终端平台和所述基座相连，每个所述X向刚度自调节机构包括：X向柔性导向件，所述X向柔性导向件与所述终端平台相连；第一Y向刚性连接件，所述第一Y向刚性连接件与所述基座侧壁相连且沿Y向定向；两个Y向冗杂件，每个所述Y向冗杂件分别与所述X向柔性导向件和所述第一Y向刚性连接件相连；两个Y向刚度自调节机构，每个所述Y向刚度自调节机构分别与所述终端平台和所述基座相连，每个所述第一Y向刚度自调节机构包括：Y向柔性导向件，所述Y向柔性导向件与所述终端平台相连；第一X向刚性连接件，所述第一X向刚性连接件与所述基座侧壁相连且沿X向定向；两个X向冗杂件，每个所述X向冗杂件分别与所述Y向柔性导向件和所述第一X向刚性连接件相连；两个X向柔性解耦机构，每个所述柔性解耦机构分别与所述终端平台和所述基座相连，每个所述X向柔性解耦机构包括：第一X向柔性解耦件，所述第一X向柔性解耦件和所述终端平台相连；第二Y向刚性连接件，所述第二Y向刚性连接件和所述第一X向柔性解耦相连且沿Y向定向；两个第一Y向柔性解耦件，每个所述第一Y向柔性解耦件分别与所述第二Y向刚性连接件和基座相连；两个Y向柔性解耦机构，每个所述Y向柔性解耦机构分别与所述终端平台和所述基座相连，每个所述Y向柔性解耦机构包括：第二Y向柔性解耦件，所述第二Y向柔性解耦件和所述终端平台相连；第二X向刚性连接件，所述第二X向刚性连接件和所述第二Y向柔性解耦件相连且沿X向定向；两个第二X向柔性解耦件，每个所述第二X向柔性解耦件分别与所述第二X向刚性连接件和基座相连；X向驱动器和Y向驱动器，所述X向驱动器与两个所述X向柔性解耦机构中的一个相连，所述Y向驱动器与两个所述Y向柔性解耦机构中的一个相连，每个所述X向冗杂件包括：第四Y向刚性连接件，所述第四Y向刚性连接件沿Y向定向；四个第二X向柔性板簧，每个所述第二X向柔性板簧沿X向定向，四个所述第二X向柔性板簧沿Y向间隔排列成两组，每组包括沿Y向间隔排列的两个所述第二X向柔性板簧，两组中位于内侧的一组中的每个第二X向柔性板簧分别连接第四Y向刚性连接件和所述Y向柔性导向件，两组中位于外侧的一组中的每个第二X向柔性板簧分别连接所述第四Y向刚性连接件和第一X向刚性连接件相连；每个所述的Y向冗杂件包括：第四X向刚性连接件，所述第四X向刚性连接件沿X向定向；四个第二Y向柔性板簧，每个所述第二Y向柔性板簧沿Y向定向，四个所述第二Y向柔性板簧沿X向间隔排列成两组，每组包括沿X向间隔排列的两个所述第二Y向柔性板簧，两组中位于内侧的一组中的每个第二Y向柔性板簧分别连接第四X向刚性连接件和所述X向柔性导向件，两组中位于外侧的一组中的每个第二Y向柔性板簧分别连接所述第四X向刚性连接件和第一Y向刚性连接件相连。