[发明专利]一种涡旋数目可控的环形涡旋阵列掩模板的设计方法在审
| 申请号: | 201710296453.7 | 申请日: | 2017-04-28 |
| 公开(公告)号: | CN106933027A | 公开(公告)日: | 2017-07-07 |
| 发明(设计)人: | 李新忠;马海祥;台玉萍;李贺贺;王静鸽;唐苗苗 | 申请(专利权)人: | 河南科技大学 |
| 主分类号: | G03F1/70 | 分类号: | G03F1/70;G21K1/00 |
| 代理公司: | 洛阳公信知识产权事务所(普通合伙)41120 | 代理人: | 宋晨炜 |
| 地址: | 471000 河*** | 国省代码: | 河南;41 |
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| 摘要: | 一种涡旋数目可控的环形涡旋阵列掩模板的设计方法,利用计算全息原理,通过光束复振幅计算模拟使两个具有不同半径的完美涡旋光束掩模板叠加,在远场产生环形涡旋阵列。通过调节两锥透镜锥角控制同心完美涡旋的光环重合程度,可以实现环形涡旋阵列的生成,这种环形涡旋阵列可以任意控制环上涡旋暗核数,因而在微粒操纵技术中具有非常重要的应用前景。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 涡旋 数目 可控 环形 阵列 模板 设计 方法 | ||
【主权项】:
一种涡旋数目可控的环形涡旋阵列掩模板的设计方法,其特征在于:步骤一、将两个锥透镜与具有不同半径的完美涡旋光束掩模板叠加;步骤二、结合了两个螺旋相位因子Ev1、Ev2、两个锥透镜复透过率函数ta1、ta2,得到贝塞尔‑高斯光束傅里叶变换表达式,再将贝塞尔‑高斯光束傅里叶变换表达式根据傅里叶变换生成参数不同的两个完全同心的完美涡旋,即模拟电场表达式ta1Ev1+ta2Ev2;步骤三、根据计算全息技术,使模拟电场表达式ta1Ev1+ta2Ev2与平面波复振幅Ep干涉后,求模取平方得到干涉光强图,该干涉光强图即为涡旋数目可控的环形涡旋阵列掩模板t。
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G03 摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F 图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F1-00 用于图纹面的照相制版的原版,例如掩膜,光掩膜;其所用空白掩膜或其所用薄膜;其专门适用于此的容器;其制备
G03F1-20 .用于通过带电粒子束(CPB)辐照成像的掩膜或空白掩膜,例如通过电子束;其制备
G03F1-22 .用于通过100nm或更短波长辐照成像的掩膜或空白掩膜,例如 X射线掩膜、深紫外
G03F1-26 .相移掩膜[PSM];PSM空白;其制备
G03F1-36 .具有临近校正特征的掩膜;其制备,例如光学临近校正(OPC)设计工艺
G03F1-38 .具有辅助特征的掩膜,例如用于校准或测试的特殊涂层或标记;其制备
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