[发明专利]一种快速稳定的亚像素级精度器件厚度检测方法有效
| 申请号： | 201710295849.X | 申请日： | 2017-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN107218894B | 公开（公告）日： | 2020-02-18 |
| 发明（设计）人： | 韦文波;盛琦;江淮;李维;孔园林;吕政;杨世举 | 申请（专利权）人： | 合肥市雅视智能科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06;G06T7/00 |
| 代理公司： | 杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙) 33240 | 代理人： | 王桂名 |
| 地址： | 安徽省合肥市肥西*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种快速稳定的亚像素级精度器件厚度检测方法。包括以下步骤：边界初步定位：将图像分成目标和空气两个区域，然后得到这两个区域的分界线，作为初步的边界定位结果；亚像素精准定位：采用反正切曲线拟合的方法，采用粒子群优化算法进行求解，针对每一列的定位结果，再采用贝塞尔曲线进行拟合；异常情况处理。针对亚像素边界定位算法进行改进，从初定位、参数大致估计、快速搜索最佳参数三个方面，在保证了定位精度满足要求的基础上，进一步实现了算法速度的提升，从而提高亚像素边界定位算法的应用潜力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 快速 稳定 像素 精度 器件 厚度 检测 方法 | ||
【主权项】：
一种快速稳定的亚像素级精度器件厚度检测方法，其特征在于，包括以下步骤：1)边界初步定位：将图像分成目标和空气两个区域，然后得到这两个区域的分界线，作为初步的边界定位结果；2)亚像素精准定位：采用反正切曲线拟合的方法，采用粒子群优化算法进行求解，针对每一列的定位结果，再采用贝塞尔曲线进行拟合；3)异常情况处理。
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