[发明专利]一种蓝宝石衬底抛光的划痕控制系统及控制方法

摘要

本发明涉及一种蓝宝石衬底抛光的划痕控制系统及控制方法，属于抛光技术领域。其解决了现有CMP存在的生成效率低和质量低等问题。本发明的自动调节控制装置分别与抛光机、冷水机、温度传感器、阻力测量计和PH传感器连接，抛光机的旋转轴下连接有抛头，阻力测量计设置在旋转轴与抛头连接处，抛头的下方为抛光机的抛光盘，抛光垫粘贴于抛光盘上，抛光垫的上方设有温度传感器和抛光液流液管，温度传感器用于检测抛光盘加工温度，抛光液流液管与抽液泵连接，PH传感器设置在抛光液灌内并检测抛光液的PH值；本发明设置好工艺条件后启动控制系统并自动进行蓝宝石衬底片抛光和划痕控制。本发明降低了成本，提高了蓝宝石衬底片抛光质量和效率。

主权项

一种蓝宝石衬底抛光的划痕控制系统，其特征在于：包括自动调节控制装置(11)、抛光机(1)、冷水机、温度传感器(3)、阻力测量计(6)和PH传感器(9)，自动调节控制装置(11)分别与抛光机(1)、冷水机、温度传感器(3)、阻力测量计(6)和PH传感器(9)连接，抛光机(1)的旋转轴(2)下连接有抛头(4)，阻力测量计(6)设置在旋转轴(2)与抛头(4)连接处，阻力测量计(6)通过测量抛光机(1)的旋转轴(2)与抛头(4)的侧向作用力以测量蓝宝石衬底片与抛光垫(5)之间的摩擦阻力，抛头(4)的下方为抛光机(1)的抛光盘，抛光垫(5)粘贴于抛光盘上，抛光垫(5)的上方设有温度传感器(3)和抛光液流液管(7)，温度传感器(3)用于检测抛光盘加工温度，抛光液流液管(7)的另一端设置在抛光液灌(8)内且与设置在抛光液灌(8)内的抽液泵连接，PH传感器(9)设置在抛光液灌(8)内并检测抛光液灌(8)内抛光液的PH值。