[发明专利]小型气体分析器

摘要

一种小型气体分析器，该小型气体分析器能够检测周围空气中的VOC气体以及感测相对湿度和周围温度，该小型气体分析器可以用于监测室内空气质量。VOC气体传感器是热控的并且可以通过编程邻近加热器而被调谐用于检测某种气体。形成在该传感器下方的绝缘气穴帮助将VOC气体传感器维持在期望的温度。本地温度传感器可以与每个气体传感器集成以提供反馈控制。加热器、本地温度传感器、(多个)气体传感器、相对湿度传感器以及周围温度传感器采用可图案化薄膜的形式集成在单个微芯片上。该装置可以结合在计算机工作站、智能电话、衣服或其他可穿戴配件中以起到个人空气质量监测器的作用，该个人空气质量监测器比现有空气质量传感器更小、更准确并且更便宜。

主权项

一种微电子气体分析器，包括：湿度微传感器，所述湿度微传感器形成在集成电路管芯上，所述湿度微传感器被配置成用于监测周围空气的湿度；温度微传感器，所述温度微传感器形成在所述集成电路管芯上，所述温度微传感器被配置成用于监测周围空气的温度；气体微传感器，所述气体微传感器形成在所述集成电路管芯上，所述气体微传感器包括半导体金属氧化物(SMO)装置，所述半导体金属氧化物装置被配置成用于检测并监测所述周围空气中存在的特别气体种类；微处理器，所述微处理器通信地耦合到所述湿度微传感器、所述温度微传感器和所述气体微传感器；以及电子存储器，所述电子存储器通信地耦合到所述微处理器，所述电子存储器被配置成用于存储由所述微处理器执行的指令并且用于存储从所述微传感器接收的数据。