[发明专利]集成空气质量传感器

摘要

可使用能够检测环境空气中的多种气体成分的微电子设备来监测空气质量。微电子空气质量监测器包括被调节为用于检测不同气体种类的多个感温气体传感器。通过对相邻加热器进行编程来调节每个气体传感器。形成在该传感器下方的绝缘气穴有助于将传感器保持在所期望温度。温度传感器还可与每个气体传感器集成，以提供另外的反馈控制。该加热器、温度传感器和气体传感器采用集成在单个微芯片上的可图案化薄膜的形式。该设备可被结合在计算机工作站、智能电话、衣物或其他可穿戴配饰中，用作相比于现有的空气质量传感器更小、更准确且成本更低的私人空气质量监测器。

主权项

一种电子多种类气体感测设备，包括：多个气体种类传感器，所述多个气体种类传感器被安排为单个集成电路阵列的元件，每个气体种类传感器包括：气敏材料，所述气敏材料被调节为用于检测特定气体种类，所述气敏材料形成在是金属氧化物半导体结构的反应层中；电阻加热器，所述电阻加热器与所述气敏材料相邻；以及温度传感器，所述温度传感器与所述气敏材料相邻，感测所述气敏材料的温度。