[发明专利]一种非接触式薄膜温度‑折射率测量装置及方法在审
| 申请号： | 201710282956.9 | 申请日： | 2017-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN106918576A | 公开（公告）日： | 2017-07-04 |
| 发明（设计）人： | 蔡宇;陈林雄;黄家豪;董博;何昭水;谢胜利;周延周 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | G01N21/45 | 分类号： | G01N21/45 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人： | 尹君君,李海建 |
| 地址： | 510062 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种非接触式薄膜温度‑折射率测量装置及方法，该测量装置包括光源、光纤耦合器、第一凸透镜、第二凸透镜、参考板、温度加载器、光谱仪以及信号处理系统。参考板和被测薄膜均置于温度加载器内，温度加载器能够改变参考板和被测薄膜所处的温度。光谱仪能够得到被测薄膜前表面反射光、被测薄膜后表面反射光以及参考板反射光相互干涉的干涉光谱。信号处理系统能够计算得出被测薄膜所处的温度由T1变至T2后其折射率的变化量Δn1。应用本发明提供的测量方法和装置时，可以通过改变被测薄膜和参考板所处的温度，得出被测薄膜随着温度变化折射率的变化值，具有动态测量能力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 接触 薄膜 温度 折射率 测量 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种非接触式薄膜温度‑折射率测量方法，其特征在于，包括：将来自光源的光分成强度相等的两束光；所述强度相等的两束光中的一束光依次穿过第一凸透镜(3)和第二凸透镜(4)后照射在所述被测薄膜(7)上，所述强度相等的两束光中的另一束光依次穿过第一凸透镜(3)和第二凸透镜(4)后照射在参考板(5)上；所述被测薄膜(7)和所述参考板(5)所处的温度为T1时，对从所述被测薄膜(7)和参考板(5)反射出的光进行光谱分析，计算得出被测薄膜(7)的厚度d以及折射率n1；改变所述被测薄膜(7)所处的温度，所述被测薄膜(7)所处的温度由T1变至T2；计算得出所述被测薄膜(7)所处的温度由T1变至T2后其折射率的变化量Δn1。
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